泄漏检测器(氦质谱检漏仪应用于真空炉检漏)

Posted 2023-05-31

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真空炉检漏原因

真空炉抽真空时，需要真空度达到1x10-5mbar左右才能有效工作。如果不能达到真空度，或者抽速慢，可能是漏点造成的，所以真空焊接炉检漏尤为必要。真空系统的真空度达不到，（气密性不好）或者达到真空度速度慢，都有可能是由于存在漏点所致，真空系统需要检漏仪进行真空检漏（气密性检测）。

真空炉主要采用氦质谱检漏仪负压模式，即真空模式检漏，氦质谱检漏仪与真空系统连接，最好连接在排气口附近（即泵组进气口），真空系统将有泵组抽真空，所以泵进气口连接氦质谱泄漏检测仪在气流方向，部分压力容易分配到氦质谱泄漏检测仪，达到泄漏检测效果。

因为炉体内外存在压差，氦气会通过漏孔进入真空炉体内部，Z终被氦检仪捕捉到，如果氦检仪报警，说明此处有泄漏。这种方法具有检测精度高，灵敏度高，花费时间短等优点。

真空炉即真空热处理炉，根据应用设备来区分，大概包含以下种类：

真空淬火炉、真空钎焊炉、真空退火炉、真空加磁炉、真空回火炉、真空烧结炉、真空扩散焊炉、真空渗碳炉等。

真空炉按加热方式分为真空电阻炉、真空感应炉、真空电弧炉、真空自耗电弧炉、电子束炉（又称电子轰击炉）和等离子炉等。

真空淬火（回火、退火）就是通过把材料或零件在真空状态下按工艺规程加热、冷却来达到预期性能的一种处理方法。

真空钎焊即在真空状态下，把一组焊接件加热到填充金属熔点温度以上，但低于基体金属熔点温度，借助于填充金属对基体金属的湿润和流动形成焊缝的一种焊接工艺（钎焊温度因材料不同而异）。

真空烧结即在真空状态下，把金属粉末制品加热，使相邻金属粉末晶粒通过粘着和扩散作用而烧结成零件的一种方法。

真空加磁主要适用于金属材料加磁处理。

真空炉，在炉腔这一特定空间内利用真空系统（由真空泵、真空测量装置、真空阀门等元件经过精心组装而成）将炉腔内部分物质排出，使炉腔内压强小于一个标准大气压，炉腔内空间从而实现真空状态.

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